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在这项工作中，通过基于光致发光测量的创新技术对植入钼和钨的晶圆进行分析，旨在评估该技术检测近表面区域金属污染的能力。 将载流子扩散长度的表面光电压 (SPV) 测量结果与光致发光测量结果进行比较。 结果表明，通过光致发光强度测量可以轻松检测到污染物剂量低至约 1010cm−2 的钼和钨污染物。 反之亦然，SPV 对这些元素的敏感性有限 (≥5·1010cm−2)，因为它们的扩散率较低。 因此，光致发光强度测量可以成为监测慢扩散器污染的传统载流子扩散长度测量的有效替代方案。