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非接触式电晕-开尔文计量法已在 IC 行业广泛应用了 20 多年，最近又被用于光伏 (PV) 行业的介电表征。 漏电低温光伏电介质的应用需要对该技术进行各种增强，例如加速时间分辨电荷测量周期以减轻漏电，以及更长波长照明以消除在富硅氮化硅（SiNx）中观察到的光致漏电。 这些增强功能允许提取重要的钝化特性，例如各种光伏电介质的界面态密度 (Dit) 谱和总介电电荷 (Qtot)。 然而，到目前为止，关于电晕-开尔文计量学在纹理表面光伏电介质表征中的应用的出版物还很少。 与传统金属氧化物半导体 (MOS) C-V 测量相比，电晕-开尔文计量学具有非常重要且独特的优势，能够在钝化、纹理表面上快速、准确地进行测量，并将泄漏影响降至最低。 在这项工作中，我们展示了电晕-开尔文技术在纹理基底上 SiNx 和氧化铝 (Al2O3) 电介质表征中的应用。 由于纹理表面的表面积增加，必须对技术中使用的面积电晕电荷剂量应用校正因子。 使用在相同条件下沉积的 SiNx 和 Al2O3 钝化的平面和纹理表面，我们凭经验确定标准碱性纹理蚀刻的表面积校正因子，从而可以准确确定纹理表面上的钝化特性，例如 Dit 和 Qtot。