COCOS（半导体电晕氧化物表征）栅极电介质非接触式计量

COCOS 计量技术能够以非接触方式快速监控所有晶圆尺寸（包括 300mm）的栅极电介质。 这种方法是在过去五年中开发出来的，并且已经在许多微电子生产线中实施。 该方法使用空气中的电晕充电将电荷沉积在电介质上，从而改变电介质和半导体中的电场。 在黑暗和强光照下，利用接触电位差 VCPD 以非接触方式测量响应。