联系我们获取详情与报价
获取专家建议，为您研发需求量身定制解决方案
需要高度灵敏、准确和精密的方法来测量亚 0.13 μm 技术中使用的电介质的特性。 监测栅极电介质的电性能尤其重要。 使用新型、无污染、无损坏的弹性探针评估薄电介质的电性能。 该探针在电介质表面形成小直径（∼30 μm 至 50 μm）弹性金属门（EM-gate）。 随后的电气测量采用先进的电容电压 (CV)、电导电压 (GV) 和电流电压 (IV) 技术进行。 获得有关电介质厚度和质量、漏电流、Si-SiO2 界面质量和沟道载流子密度分布的宝贵且重要的信息。