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少数载流子扩散长度测量的终极表面光电压方法被称为终极 SPV，用整组波长同时照明取代了连续的“一次一个波长”方法。 在这种多波长光束中，每个单色分量以稍微不同的频率被斩波。 这使得能够使用多频率信号处理同时监控与不同波长相对应的所有分量 SPV 信号。 然后分析每个分量信号的幅度和相位，并用于计算扩散长度和表面寿命。 飞行中终极 SPV 测量（即晶圆在 SPV 探针下连续移动）用于快速整个晶圆测绘。 除了速度优势之外，Ultimate SPV 还具有基本的精度优势，因为消除了单个波长顺序照明期间晶圆状况的差异。 高速测量使得添加额外的晶圆处理并执行分离硅块中的铁和铜所需的多重映射成为可能。 使用 Ultimate SPV 在 2 分钟内实现晶圆映射对于监测硅中的钴至关重要。