欧洲在微米和纳米技术的计量、分析和表征领域提供卓越的专业知识。 这种专业知识是通过研究机构、学术界、中小企业和工业界提供的。 欧洲开发协同效应、增强现有技术和开发创新方法的方法通过名为纳米技术分析网络(ANNA)和纳米电子技术半导体设备评估(SEA-NET)的两个项目展示。 ANNA 是一项基础设施倡议,重点关注独立运营实验室的整合。 这个多地点实验室形成了一个由分析工作科学家和现有机构组成的协作、协同网络。 SEA-NET 的目标是验证新兴半导体制造设备,包括满足下一代技术节点先进工艺要求的计量工具。 原型设备评估是由工具供应商与集成设备制造商和研究机构合作完成的。 介绍了非接触电阻率测量、X 射线计量平台和基于 IMS 技术的气体检测系统的结果。