通过光调制反射率测量进行中低能量注入倾斜角监测

光调制反射率测量 (PMR) 是一项出色的技术，用于监测注入的预退火生产晶圆的离子注入剂量和倾斜角。 SEMILAB PMR-3000 是用于在热退火工艺步骤之前在线监测离子注入的装置。 增强的光学系统可确保在整个剂量范围内进行精确测量，而不会在中间剂量范围内产生不敏感区域。 典型的剂量可检测性为＜0.5％(1σ)。 倾斜角度检测分辨率可达0.1°（1σ）。 这种对倾斜角度的敏感性满足了最先进的过程控制要求。