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光伏的高级表征是一个复杂的过程,必须解决体缺陷、界面、钝化和退化现象。 它不仅需要适当的测量技术,还需要将测量与改变缺陷/界面活性的处理相结合。 优选地,计量应当是非接触式的并且具有成本效益。 这项工作的目的是为硅光伏提供这种多功能晶圆级表征能力。 在本文中,我们描述了一个多功能计量平台。 给出的示例应用说明了顺序测量对于以下方面的重要性: 1 - 监测光伏晶片和太阳能电池的光致退化; 2-界面陷阱密度与表面复合之间的相关性以及表面势垒的作用,3-场效应电势发射极钝化的监测。