基于表面电压的非视觉缺陷检测新方法

检查基于表面电压的非视觉缺陷检测的测量速度和分辨率。 在需要较大测量探针的全晶圆检测的高测量速度和需要较小测量探针的方法分辨率之间存在权衡。 在本文中，我们通过使用不同直径的开尔文探针克服了这种权衡。 使用直径为 2mm 的开尔文探针进行全晶圆检测，可实现高吞吐量。 仅当检测到可疑故障时，才会使用直径为 10 μm 的开尔文探针对局部较小区域进行检查。

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