高 k 电介质的非接触厚度和电气特性

我们对 BST/Pt 样品进行了非接触式厚度和电气测量。 我们相信这是第一次以高置信度测量 Pt 电极顶部的 BST 厚度。 厚度测量是使用皮秒超声波进行的，并且可以在某些点与 TEM 相关。 然而，与这种破坏性方法相比，皮秒超声波可以快速测量，通过 49 点轮廓图确定薄膜均匀性，并同时计算 Pt 厚度。 电气测量是使用基于 COCOS（半导体电晕氧化物表征）技术的电容探头进行的。 通过电气测量，我们能够计算出介电常数。

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