用于硅光伏钝化检测的在线 PL 成像新方法

我们报告了基于我们最近推出的单 PL 图像概念的 PL 成像在线表面钝化检测的新且非常有效的方法的进展。 介绍了这种新颖的 inlinePL 技术的细节，并证明了它作为先进太阳能电池制造过程检测工具的适用性。 提供了使用异质结结构的方法学示例，特别适合高效电池。 结果表明，除了观察到原始 PL 图像本身适合使用 QSS-μPCD 技术的直接参数校准对钝化缺陷进行高分辨率可视化之外，PL 图像还可以转换为发射极饱和电流 (J0e) 和隐含 Voc 图像。 我们的在线 PL 成像技术的准确性通过将原始 PL 计数图像与传统且广泛使用的基于 2D 相机的固定 PL 成像技术进行比较，并将计算的基于在线 PL 的 J0e 和隐含 Voc 图像与基于准稳态光偏置微分寿命的 QSS-μPCD 技术确定的 J0e 和隐含 Voc 图像进行比较。 两项对比测试均显示所应用技术之间具有良好的一致性，不仅证实了在线 PL 成像技术的实用优势，而且具有准确性。