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最先进的超浅结是使用极低的离子注入能量（低至 1-3 keV 的范围）产生的。 这可以通过多种生产技术来实现； 然而，存在实际注入能量与期望值不同的重大风险。 为了检测这一点，需要使用灵敏的测量方法。 实验表明，退火前的光调制反射测量和退火后基于结光电压的薄层电阻测量都适合此目的。
