用于监测植入倾斜角的光调制反射测量技术

发布到: 2018 22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT)

年: 2018

作者: Á Kun, J Szívós, E Kis, L.M. Rubin, T. Szarvas, A. Pongrácz, O. Almási, J. Byrnes, Gy. Nádudvari, Sz. Spindler, R. Piros, F. Ujhelyi

photomodulated reflectance

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光调制反射率测量 (PMR) 是一种用于对注入的预退火生产晶圆进行注入剂量和倾斜监测的出色技术。 SEMILAB PMR-3000 是一款在线监控装置，用于在热退火工艺步骤之前监控离子注入。增强的光学系统确保在整个剂量范围内进行测量，在中间剂量范围内没有不敏感区域。典型的剂量可检测性是＜0.5％(1sigma)。倾斜角检测的分辨率<0.1°(1sigma)。这种对倾斜角度的敏感性满足了最先进的过程控制要求。

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