使用 QSS-μPCD 方法直接校准的基于光致发光的发射极饱和电流成像的单图像概念

引入了基于光致发光成像的技术，该技术能够在扩展的材料参数范围内仅使用单个 PL 图像来测量晶圆的发射极饱和电流图像。 QSS-μPCD 技术用于记录直接 J_0e 校准的独立参考值。 结果表明，为了在扩展的 J_0e 和总体寿命范围内获得准确结果，总体寿命的估计非常有用。 结果表明，从 QSS-μPCD Basore-Hansen 图可以可靠地估计该总体寿命值。 将计算出的寿命相关校正与实验结果进行比较，显示出良好的一致性。 作为潜在的工业在线应用，介绍了基于 PL 设置的一维相机的结果。