Lehighton-2000M シート抵抗・移動度測定

この非接触・非破壊システムは、直径最大200 mmの化合物半導体ウェーハのキャリア移動度とシート抵抗の特性評価を目的として設計されています。移動度測定にはRF反射法と永久磁石を、シート抵抗分析には渦電流プローブ技術を組み合わせています。高スループットとフルウェーハマッピングにより、半導体製造およびR&Dに不可欠な均一性分析を提供します。