microPL, JPV, photo-modulated reflectance2023
Siにおけるイオンチャネリングおよびコインプラントがイオン飛程と損傷に及ぼす影響:PL、SRP、SIMSおよびMCモデルによる研究
著者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
トピック: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
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SRP-170は、シリコン半導体のドーパントおよび抵抗率プロファイリング向けに設計された、コストパフォーマンスの高い拡がり抵抗プロファイラです。大学、研究機関、少量分析ラボに最適で、手動ローディングと専門家によるガイド付き操作により、信頼性の高い性能を提供します。社内でのサンプル前処理用キットが付属します。
SRP-170 拡がり抵抗プロファイリング
著者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
トピック: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
著者: E. E. Najbauer, L. Sinkó, Sz. Biró, Z. Durkó, P. Basa
トピック: carrier density; epitaxial layer; semiconductor; Silicon (Si); SRP-2100; SRP; FTIR REFLECTOMETRY
SRP-170 拡がり抵抗プロファイリング