SRP-2100 / SRP-2100i 拡がり抵抗プロファイリング

SRP-2100シリーズは、半導体ウェーハにおける高精度拡がり抵抗プロファイリング（SRP）およびドーパント濃度解析のためのSemilabのフラッグシップソリューションです。シリコンおよび化合物半導体（PCIVオプション使用時）に対応し、プロセスモニタリング、故障解析、デバイス特性評価のための全自動・高精度デプスプロファイリングを実現します。