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USJソース-ドレイン構造の四探針プローブ（4pp）シート抵抗（R/sub S/）を測定する精密な方法について説明します。新手法は、シリコン表面に非貫通型の接触を形成するElastic Material gate（EM-gate）プローブを使用します。プローブ設計は運動学的であり、プローブ材料の弾性変形を確保するために力が制御されています。プローブ材料は、自然酸化膜を通じて大きな直接トンネリング（DT）電流が流れるように選択され、低インピーダンスの接触を形成します。本論文では、各種注入USJ構造上での新しい4ppの実証を行います。