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本研究では、モリブデンおよびタングステン注入ウェーハを、フォトルミネッセンス測定に基づく革新的な技術により分析し、表面近傍領域における金属汚染の検出能力を評価しました。表面光起電力（SPV）によるキャリア拡散長測定の結果を、フォトルミネッセンス測定の結果と比較しました。モリブデンおよびタングステン汚染は、約1010cm−2の汚染物質ドーズまでフォトルミネッセンス強度測定により容易に検出できることが示されました。一方、SPVはこれらの元素に対する感度が限定的（≥5·1010cm−2）であり、これはそれらの低い拡散性に起因します。したがって、フォトルミネッセンス強度測定は、低速拡散体汚染のモニタリングにおいて、従来のキャリア拡散長測定の有効な代替手段となり得ます。