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結晶Si太陽電池製造ラインにおける自動化およびスループットの向上に伴い、対応するプロセス装置に直接組み込まれた品質管理（QC）への関心が高まっている。リン拡散工程の主要なQCパラメータは、通常手動で抜き取った試料に基づいて測定されるエミッタシート抵抗である。これに対し、我々の目的は大量拡散装置に直接組み込むことができる測定方法を開発・試験することであった。渦電流技術およびSPV（表面光起電力）プロービングに基づく新開発システムの2つの非接触アプローチを検討した。基準測定技術として四探針法（FPP）を使用した。その結果、新しい30 MW電池ラインに既に組み込まれた新規SPVアプローチがオフラインFPPと同等の精度をもたらすことが明確に示された一方、渦電流技術は適用できないことが判明した。
