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従来のゲートキャパシタ電気試験と新しい非接触アプローチによるナイトライドスペーサプラズマダメージ結果の相関
掲載誌:
International Symposium on Plasma Process-Induced Damage, 1997.
年:
1997
著者:
M.W. Goss, A. Findlay
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