非貫通・非損傷型弾性材料プローブ（EM-Probe）によるイオン注入活性化および接合リーク電流の決定

掲載誌: International Workshop on INSIGHT in Semiconductor Device Fabrication, Metrology, and Modeling (INSIGHT-2007), May 6 - 9, 2007, Napa, California

年: 2007

著者: R.J. Hillard, M. Benjamin, J.O. Borland

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