接合光起電力測定によるシート抵抗の高分解能マッピングがイオン注入装置またはアニール不均一性を検出

掲載誌: SEMI Seminars, July 17 to 19, 2007, San Francisco, USA, West Coast Junction Technology Group, USJ metrology seminar

年: 2007

著者: C. Kohn, E. Don, P. Tüttő, A. Pap, T. Pavelka

sheet resistanceultra shallow implantsjunction photovoltage technique

• SemilabによるJPV測定技術の開発

• 動作原理の簡単な理論• サンプル測定

• JPVシステムにおける性能のばらつき

• 追加ウェーハマップ• まとめ