接合光起電力測定によるシート抵抗の高分解能マッピングがイオン注入装置またはアニール不均一性を検出

掲載誌: SEMI Seminars, July 17 to 19, 2007, San Francisco, USA, West Coast Junction Technology Group, USJ metrology seminar

年: 2007

著者: C. Kohn, E. Don, P. Tüttő, A. Pap, T. Pavelka

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