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ライフタイム測定によるp型シリコン中の金属不純物の同定可能性
掲載誌:
J. Electrochem. Soc., 143, No. 1, 216-220
年:
1996
著者:
T.S. Horányi, P. Tüttő, Cs. Kovacsics
oxidation
Silicon (Si)
temperature
nitrogen compounds
oxygen compounds
quartz
surface treatment
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