大面積薄膜太陽電池材料の統合的電気・光学特性評価

薄膜太陽電池製造において、シリコンベース薄膜、CIS/CIGSベース薄膜、CdTeベース薄膜、およびその他のより特殊な材料・構造など、複数の異なる技術が現在工業規模で使用されている。研究段階および生産管理の両方において、生産中のパネルに直接適用できる適切な特性評価手法が必要とされている。本論文では、このような薄膜特性評価に適した先進的な電気・光学計測技術の範囲を紹介する。これらの測定は、材料特性を決定するために多数の非接触・非破壊プローブを利用し、薄膜生産で使用される大面積基板を取り扱える単一の柔軟なプラットフォームに構成できる。また、分光分解ヘイズおよび透過率測定において達成された重要な改善についても紹介する。この改善は、実際のサンプル検定前に参照サンプルを測定する通常の必要性なしにこれらの測定を可能にする適切な積分球を備えた光学セットアップの構築であり、積分球の利点を維持しつつ通常の測定時間を短縮するものである。