適切なPOCl₃拡散による低ライフタイムシリコンウェーハの有効活用

本研究では、工業的大量生産への適用可能性に焦点を当て、変換効率に関して低品質シリコン材料に対するPOCl₃拡散プロセスを最適化した。そのため、調査は単一プロセスステップでのエミッタ拡散に限定した。また、標準的なスクリーン印刷プロセスでコンタクト可能なエミッタプロファイルのみを考慮した。拡散後に測定されたキャリアライフタイムと太陽電池効率の間に強い相関が観察された。拡散温度がキャリアライフタイム改善の主要パラメータとして特定された。拡散温度を60°C低下させることにより、低品質シリコンウェーハから作製したセルの変換効率が相対的に3%向上した。

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