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少数キャリア拡散長測定のUltimate表面光起電力法（Ultimate SPVと称される）は、従来の「一度に1波長ずつ」の逐次的アプローチを、全波長セットの同時照射に置き換えるものです。この多波長ビームでは、各単色光成分がわずかに異なる周波数でチョッピングされます。これにより、多周波信号処理を用いて、異なる波長に対応するすべてのSPV信号を同時にモニタリングすることが可能になります。各成分信号の振幅と位相を分析し、拡散長と表面ライフタイムの算出に使用します。ウェーハがSPVプローブの下を連続的に移動するインフライトUltimate SPV測定は、高速なウェーハ全面マッピングに使用されます。速度面の利点に加え、Ultimate SPVは、個々の波長での逐次照射中のウェーハ状態の差異を排除することで、根本的な精度の優位性を提供します。高速測定により、追加のウェーハ処理やシリコンバルク中のFeおよびCuの分離に必要なマルチマッピングの実施が可能になります。Ultimate SPVで実現される2分間のウェーハマッピングは、シリコン中のコバルトモニタリングにとって極めて重要です。