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欧州は、マイクロ・ナノテクノロジーにおけるメトロロジー、分析、特性評価の分野で優れた専門知識を有しています。この専門知識は、研究機関、大学、中小企業、および産業界を通じて培われています。シナジーの開発、既存技術の強化、革新的手法の開発に対する欧州のアプローチは、ANNA（Analytical Network for Nanotech）とSEA-NET（Semiconductor Equipment Assessment for NanoElectronic Technologies）の2つのプロジェクトによって示されています。ANNAは、独立して運営されている研究所の統合に焦点を当てたインフラストラクチャ・イニシアチブです。このマルチサイト研究所は、分析科学者および既存機関の協力的で相乗的なネットワークを形成しています。SEA-NETの目的は、次世代技術ノード向けの先端プロセス要件に対するメトロロジーツールを含む新興半導体製造装置の検証です。プロトタイプ装置の評価は、ツールサプライヤーとIDM（垂直統合型デバイスメーカー）および研究機関の協力のもとで行われています。非接触抵抗率測定、X線メトロロジープラットフォーム、およびIMS技術に基づくガス検出システムの成果が報告されています。