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欧州はマイクロ・ナノテクノロジーにおける計測、分析および特性評価の分野で卓越した専門知識を有しています。この専門知識は研究機関、学術界、中小企業および産業界を通じて培われています。シナジーの創出、既存技術の強化、革新的手法の開発に対する欧州のアプローチは、ANNA（Analytical Network for Nanotech）およびSEA-NET（Semiconductor Equipment Assessment for NanoElectronic Technologies）という2つのプロジェクトに示されています。ANNAは独立して運用されている研究室の統合に焦点を当てたインフラストラクチャイニシアチブです。このマルチサイト研究室は、分析科学者と既存機関の協力的かつ相乗的なネットワークを形成します。SEA-NETの目的は、次世代技術ノード向けの先端プロセス要件に対応する計測ツールを含む、新興半導体製造装置の検証です。プロトタイプ装置の評価は、ツールサプライヤーと統合デバイスメーカーおよび研究機関の協力により行われます。非接触抵抗率測定、X線計測プラットフォーム、およびIMS技術に基づくガス検出システムの結果が示されます。