ディープトレンチを有する0.18 μmパワー半導体デバイスにおける転位発生のマイクロフォトルミネッセンスイメージング

掲載誌: ASMC 2018 Annual Conference

年: 2018

著者: L. Jastrzebski, G. Nadudvari, D. T. Cseh, L. Roszol, G. Molnar, I. Lajtos

Micro-Photoluminescence ImagingDislocation GenerationSemiconductor DevicesDeep TrenchesWafer Fabrication

情報と価格についてはお問い合わせください

専門家のアドバイスと研究ニーズに合わせたソリューションを入手してください