光変調反射率測定による中低エネルギーイオン注入チルト角モニタリング

光変調反射率測定（PMR）は、アニール前のアズインプラント製造ウェーハのイオン注入ドーズ量およびチルト角モニタリングに優れた技術です。Semilab PMR-3000は、熱アニールプロセスステップ前のイオン注入のインラインモニタリング用装置です。強化された光学系により、中ドーズ範囲に不感域がなく、全ドーズ範囲にわたる正確な測定が保証されます。典型的なドーズ検出能は<;0.5%（1 σ）です。チルト角検出の分解能は0.1°（1 σ）に到達可能です。このチルト角に対する感度は、最先端のプロセス制御要件を満たしています。