コロナ帯電を用いたSiO2中の可動ナトリウムイオンのモニタリング

掲載誌: Proceedings of the Electrochemical Society Symposium on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices

年: 1997

著者: F.A. Stevie, E. Persson, D.K. DeBusk, A. Savchuk, A.M. Hoff, P. Edelman, J. Lagowski

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