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本研究では、分離型プラズマ窒化（DPN）HfSiOxに対するコロナ帯電測定の評価と理解を示します。等価酸化膜厚（EOT）、界面準位密度（Dit）および飽和表面電圧（Vsat）などの典型的なコロナ帯電パラメータを評価しました。特にDitとVsatは、DPNパラメータとの良好な精度での相関を示すことから、窒化モニタリングの有望なパラメータであることが示されました。Vsatの観察された挙動に対する基本的な説明を、直接トンネルモデルを用いて提示します。
