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薄膜ゲート酸化膜の信頼性モニタリングのための新しいCOCOS（Corona Oxide Characterization of Semiconductor）手法
掲載誌:
ALTECH 99: analytical techniques for semiconductor materials and process characterization
年:
1999
著者:
M. Wilson, J. Lagowski, A. Savtchouk, L. Jastrebski, J. D'Amico, D.K. DeBusk, A. Buczkowski
COCOS
Interface structure
surface treatment
Corona effect
Voltage current curve
reliability
Oxide layer
Defect detection
Comparative study
Experimental result
Waveform
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