Metal-Insulator-Metalキャパシタ製造における帯電低減のための非接触表面電位測定

掲載誌: Microelectronics Reliability 41 2001) 1403

年: 2001

著者: J. Ackaert, Z. Wang, E. De Backer, P. Colson, P. Coppens

charging induced damage (CID)metal-insulator-metal-capacitor (MIMC)

情報と価格についてはお問い合わせください

専門家のアドバイスと研究ニーズに合わせたソリューションを入手してください