VISZ 表面光電圧マッピングによる非視覚欠陥モニタリング

掲載誌: ECS Transactions

年: 2016

著者: Andrew David Findlay, Dmitriy Marinskiy, Piotr Edelman, Marshall Wilson, Alexandre Savtchouk, Carlos Almeida, Jacek Lagowski

Non-Contact Measurementsilicon carbide (SiC)surface voltagewafer mappingnon-visual defects

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