MOS製造における電気計測の最近の進展

高リークゲートスタックは並列RC等価回路としてモデル化されます。♦ 容量を分解するには、より高い周波数を使用して容量性インピーダンスを低減させ、並列抵抗／コンダクタンスに対して容量性素子を支配的にします。♦ ただし、これはテスト構造に無視できる程度の寄生直列抵抗がある場合にのみ有効です。直列抵抗が存在する場合に高い周波数を使用すると、対象の容量性インピーダンスがRsに比べて無視できるほど小さくなるだけです。