反射モード走査赤外顕微鏡（SIRM）とそのシリコン中の欠陥検出への応用（走査赤外顕微鏡とそのシリコンにおける応用）

掲載誌: DRIP IX Conference Sept. 2001), Poster Sessions, P1-B: Defects in Silicon, P1-14

年: 2001

著者: Cs. Kovacsics

Silicon

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