QSS-μPCD法による直接キャリブレーションを用いたフォトルミネッセンスベースのエミッタ飽和電流イメージングのための単一画像コンセプト

フォトルミネッセンスイメージングベースの手法を導入し、材料パラメータの拡張範囲にわたって単一のPL画像のみでウェーハのエミッタ飽和電流画像の測定を可能にしました。QSS-μPCD法を使用して、直接J_0eキャリブレーションのための独立した参照値を記録します。拡張されたJ_0eおよびバルクライフタイム範囲で正確な結果を得るためには、バルクライフタイムの推定が非常に有用であることが示されました。QSS-μPCDのBasore-Hansenプロットからこのバルクライフタイム値を信頼性高く推定できることが示されました。計算されたライフタイム関連の補正は実験結果と比較され、良好な一致を示しました。潜在的な産業用インライン応用として、1DカメラベースのPLセットアップからの結果が提示されました。