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大気中でのコロナ帯電と接触電位差プローブによる非接触酸化膜電荷測定の組み合わせは、MOSキャパシタを作製することなく電子トンネリング特性を高速モニタリングするための独自の可能性を提供します。また、トンネリング領域の薄膜酸化膜のコロナ帯電は、ストレス誘起リーク電流の生成に非常に効果的であることがわかりました。本研究では、コロナストレス誘起リーク電流の大きさがゲート酸化膜完全性欠陥密度に対して感度を有することを実証します。実験結果は、最も一般的な3種類のゲート酸化膜完全性欠陥を対象としています：1 – 実用上重要な低濃度範囲1×1010〜1×1011 atoms/cm3における重金属（Fe.Cu）により誘起される欠陥、2 – 界面粗さに起因する欠陥、3 – 結晶起因パーティクルに関連する欠陥。