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キンヒドロン/エタノール処理によるシリコン基板の表面パッシベーションの新しい技術について調査しました。表面パッシベーション効果を評価するため、マイクロ波光導電減衰法を用いてシリコン基板のライフタイムを測定しました。測定されたライフタイムはキンヒドロン濃度およびパッシベーション時間に依存していました。0.01 mol/dm3のキンヒドロン/エタノール処理は良好なパッシベーション効果を示し、非常に低い表面再結合速度が得られました。キンヒドロン/エタノール処理は、ヨウ素/エタノール処理よりも効果的なパッシベーション技術でした。したがって、キンヒドロン/エタノールパッシベーションはライフタイム測定に広く使用できます。
