先進パッシベーション誘電体におけるPID感受性および界面トラップ密度のモニタリング技術

掲載誌: China SoG Silicon and PV Power Conference, June 2013, Suzhou, China

年: 2013

著者: M. Wilson, A. Findlay, J. Lagowski, J. D’Amico, A. Savtchouk

passivation dielectricinterface trap densityPID susceptibility

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