Materials Science and Engineering, B41989
반도체 내 심층 준위의 분산형 마이크로파 과도 분광법
저자: D. Huber, P. Eichinger, G. Ferenczi, T. Pavelka, G. Veszely
주제: Microwave transient spectroscopy; deep levels; semiconductor
간행물 읽기

COREMA-2000 시리즈는 SiC, GaN, GaAs, CdTe, GaO, InP와 같은 반절연 화합물 반도체를 대상으로 설계된 정밀하고 비파괴적인 비접촉식 저항률 측정 솔루션을 제공합니다. 해당 장비는 높은 정확도와 반복 재현성을 바탕으로 연구 환경과 산업용 반도체 제조 공정 모두에 적용 가능합니다.
COREMA-2000 비접촉식 저항률 매핑