비관통형 4점 프로브를 이용한 초박막 접합 시트 저항의 정확한 산출

USJ 소스-드레인 구조의 4점 프로브(4pp) 시트 저항(R/sub S/)을 정확하게 측정하는 방법이 설명됩니다. 새로운 방법은 탄성 재료 게이트(EM-gate) 프로브를 활용하여 실리콘 표면에 비침투 접점을 형성합니다. 프로브는 운동학적 구조로 설계되었으며 프로브 재료의 탄성 변형이 유지되도록 가해지는 힘이 정밀하게 제어됩니다. 프로브 재료는 큰 직접 터널링(DT) 전류가 자연 산화물을 통해 흐를 수 있도록 선택되어 낮은 임피던스 접점을 형성합니다. 이 논문에서는 주입된 다양한 USJ 구조에 대해 새로운 4PP 기법의 성능을 실험적으로 입증합니다.

‍