마이크로 코로나-켈빈 기술을 적용한 High-k MOS 커패시터의 비접촉 모니터링

게시 위치: Meeting Abstracts - The Electrochemical Society

년도: 2008

저자: Anton Belyaev, Marshall Wilson, Jacek Lagowski, Lubek Jastrzebski, Andrew Findlay, J Price, CS Park, Muhammad M Hussain, G Bersuker, PS Lysaght

Corona-Kelvin MetrologyDielectricsNon-Contact Measurement

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