반도체의 코로나 산화물 특성화(COCOS) 계측: 물리적 원리 및 응용

게시 위치: ASTM Conference on Gate Dielectric Oxide Integrity, 1999

년도: 1999

저자: M. Wilson, J. Lagowski, A. Savtchouk, L. Jastrzebski, J. D'Amico

COCOScoronaInterface Trapstress induced leakage currentiron contaminationContact Potential Difference (CPD)

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