비침투, 비손상 탄성재료 프로브(EM-Probe)를 이용한 이온 주입 활성화 및 접합부 누출 확인

게시 위치: International Workshop on INSIGHT in Semiconductor Device Fabrication, Metrology, and Modeling (INSIGHT-2007), May 6 - 9, 2007, Napa, California

년도: 2007