시트 저항의 고해상도 매핑을 통한 주입기 또는 어닐링 공정의 비균일성 확인

게시 위치: SEMI Seminars, July 17 to 19, 2007, San Francisco, USA, West Coast Junction Technology Group, USJ metrology seminar

년도: 2007

저자: C. Kohn, E. Don, P. Tüttő, A. Pap, T. Pavelka

sheet resistanceultra shallow implantsjunction photovoltage technique

• Semilab의 JPV 측정 기법 개발

• 동작 원리에 대한 간단한 이론• 시료 측정

• JPV 시스템 내 성능 변화

• 추가 웨이퍼 맵• 요약