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본 연구에서는 초고감도 PDL Hall 효과 시스템을 이용하여 증착 직후 상태, 열처리 상태, 그리고 CdCl₂ 처리된 ZnO 박막의 전기적 특성을 분석합니다. Hall 효과 측정을 통해 박막의 캐리어 농도, 이동도 및 전도도를 산출합니다. 기존에 RF 스퍼터링으로 증착된 더 얇은 ZnO 박막은 절연 특성을 보여, 1 V에서 선형 응답이나 Hall 효과 측정에서 유의미한 신호를 얻을 수 없었습니다. 반면 본 연구에서는 서로 다른 기판 온도에서 증착된 일부 두꺼운 ZnO 박막에서 향상된 1 V 응답과 함께 강화된 Hall 신호가 관찰되었습니다. 이를 통해 신뢰성 있는 캐리어 농도 및 이동도 값을 산출할 수 있었습니다. 기판 온도 500°C에서 증착된 두께 750 nm의 ZnO 박막은 평균 4.24×10¹³ cm⁻³의 캐리어 농도를 나타냈습니다. 또한 진공 상태에서 500°C로 열처리하고 CdCl₂ 처리를 수행한 경우, 캐리어 농도가 추가적으로 증가하는 경향이 관찰되었습니다.
